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厚积薄发 大有可为
坚持差异化产品策略, G12“夸父”系列产品以大尺寸、薄片化、N型技术,
持续推进降本增效, 引领行业生态前行。
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深蓝定式赋能生产, 实现柔性制造
硅片尺寸
G12
G12+
M10
导电类型
P型
N型
P型
P型
N型
几何参数
规格参数
标准
单位
测试工具
测试标准
片厚
150-10/+20
μm
AOI
/
总厚度变化
≤ 27
μm
AOI
ASTM F657
翘曲度
≤ 40
μm
AOI
ASTM F657
边长
210 ± 0.25
mm
AOI
/
直径
295 ± 0.25
mm
AOI
/
垂直度
90 ± 0.2
AOI
/
规格参数
标准
单位
测试工具
测试标准
片厚
130-10/+20
μm
AOI
/
总厚度变化
≤ 27
μm
AOI
ASTM F657
翘曲度
≤ 40
μm
AOI
ASTM F657
边长
210 ± 0.25
mm
AOI
/
直径
295 ± 0.25
mm
AOI
/
垂直度
90 ± 0.2
AOI
/
规格参数
标准
单位
测试工具
测试标准
片厚
160-10/+20
μm
AOI
/
总厚度变化
≤ 27
μm
AOI
ASTM F657
翘曲度
≤ 40
μm
AOI
ASTM F657
边长
218.2 ± 0.25
mm
AOI
/
直径
306.6 ± 0.25
mm
AOI
/
垂直度
90 ± 0.2
AOI
/
规格参数
标准
单位
测试工具
测试标准
片厚
150-10/+20
μm
AOI
/
总厚度变化
≤ 27
μm
AOI
ASTM F657
翘曲度
≤ 40
μm
AOI
ASTM F657
边长
182 ± 0.25
mm
AOI
/
直径
247 ± 0.25
mm
AOI
/
垂直度
90 ± 0.2
AOI
/
规格参数
标准
单位
测试工具
测试标准
片厚
130-10/+10
μm
AOI
/
总厚度变化
≤ 27
μm
AOI
ASTM F657
翘曲度
≤ 40
μm
AOI
ASTM F657
边长
182 ± 0.25
mm
AOI
/
直径
247 ± 0.25
mm
AOI
/
垂直度
90 ± 0.2
AOI
/
外观特性
规格参数
标准
单位
测试工具
测试标准
划道/缺口/孔洞
无NONE
/
OI/目测
/
脏污/雾/残留硅渣
无NONE
/
AOI/目测
/
崩边
长度≤ 500
宽度≤ 300
μm
AOI/目测
数量≤ 1
线痕(RY)
≤ 15
μm
AOI/MITUTOYO测试仪
/
隐裂/裂
无NONE
/
OI/目测
/
线纹方向
水平方向
/
目测VISUAL
/
规格参数
规格参数
单位
测试工具
测试标准
划道/缺口/孔洞
无NONE
/
OI/目测
/
脏污/雾/残留硅渣
无NONE
/
AOI/目测
/
崩边
长度≤ 500
宽度≤ 300
μm
AOI/目测
数量≤ 1
线痕(RY)
≤ 15
μm
AOI/MITUTOYO测试仪
/
隐裂/裂
无NONE
/
AOI/目测
/
线纹方向
水平方向
/
目测VISUAL
/
规格参数
规格参数
单位
测试工具
测试标准
划道/缺口/孔洞
无NONE
/
OI/目测
/
脏污/雾/残留硅渣
无NONE
/
AOI/目测
/
崩边
长度≤ 500
宽度≤ 300
μm
AOI/目测
数量≤ 1
线痕(RY)
≤ 15
μm
AOI/MITUTOYO测试仪
/
隐裂/裂
无NONE
/
AOI/目测
/
线纹方向
水平方向
/
目测VISUAL
/
规格参数
规格参数
单位
测试工具
测试标准
划道/缺口/孔洞
无NONE
/
OI/目测
/
脏污/雾/残留硅渣
无NONE
/
AOI/目测
/
崩边
长度≤ 500
宽度≤ 300
μm
AOI/目测
数量≤ 1
线痕(RY)
≤ 15
μm
AOI/MITUTOYO测试仪
/
隐裂/裂
无NONE
/
AOI/目测
/
线纹方向
水平方向
/
目测VISUAL
/
规格参数
规格参数
单位
测试工具
测试标准
划道/缺口/孔洞
无NONE
/
OI/目测
/
脏污/雾/残留硅渣
无NONE
/
AOI/目测
/
崩边
长度≤ 500
宽度≤ 300
μm
AOI/目测
数量≤ 1
线痕(RY)
≤ 13
μm
AOI/MITUTOYO测试仪
/
隐裂/裂
无NONE
/
AOI/目测
/
线纹方向
水平方向
/
目测VISUAL
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